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题目（Title）：
材料器件中心《造芯大讲堂》2026年第六讲【设备篇】——《半导体行业大宗气体、特气系统应用技术》
主讲人（Speaker）：
孙效义
开始时间（Start Time）：
2026-05-08 13:30
结束时间（End Time）：
2026-05-08 15:30
会议地点（Place）：
材料器件中心S209
主办单位（Organization）：
材料器件中心
协办单位(Co-organizer)：
简介（Brief Introduction）：
1.电子特气系统供应方式介绍
2.电子特气系统设计基础
3.气体监控系统与生命安全系统介绍
2.电子特气系统设计基础
3.气体监控系统与生命安全系统介绍
沪公网安备 31011502006855号