《造芯大讲堂》2026年第三讲【制程篇】——《刻蚀工艺技术及其在集成电路制造中的应用》

发布时间2026-04-06文章来源 上海科技大学作者责任编辑系统管理员

1. 刻蚀工艺简介​;

2. 干法刻蚀工艺基本原理​；

3. 常用膜层刻蚀机理​；

4. 先进干法刻蚀工艺​。