信息学院“微电子器件”课程开展材料器件中心参观实践活动

近期，信息科学与技术学院课程“微电子器件”（EE2211）在上海科技大学材料器件中心成功开展实践教学活动。本次活动依托材料器件中心这一集公共科研服务、教学实践与技术研发于一体的先进平台，为课程学生提供了深入了解微纳制造全流程的宝贵机会，有效促进了课程理论与产业实践的深度融合。

图 | 材料器件中心工程师为同学们讲解光刻技术

本次实践以“探索微纳制造前沿”为主题，中心技术团队首先向学生们系统介绍了平台的发展历程与硬件设施。在微光长廊参观环节，工程师详细讲解了镀膜沉积、光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、量测表征等各工艺步骤的仪器设备，深入剖析了设备的工作原理、技术指标和工艺特色，并结合实际应用场景阐述了其在材料生长与器件制备中的关键作用。工程师重点介绍了位于光刻区的ASML步进式光刻机。该设备通过深紫外光将掩膜版图形4倍缩小后复制到样品上，极限线宽可达150纳米。

图 | 材料器件中心工程师在洁净间里向同学们介绍设备功能和使用

在材料器件中心工程师的指导下，学生们严格按照规范穿戴防护装备进入洁净间，依次参观了光刻区、镀膜区、刻蚀区、清洗区、后道区和量测区。通过近距离观摩原子力显微镜、电子束蒸发系统、磁控溅射沉积系统、化学气相沉积系统、反应离子刻蚀系统等先进设备，学生对微纳加工的全流程建立了更加直观和深入的认识。参观结束后，学生们与中心工程师就设备原理、工艺参数等专业问题展开了热烈讨论。这种面对面的交流不仅解答了学生在课程学习中遇到的疑惑，更拓展了对微纳制造技术的理解。

图 | 实践活动合影

“微电子器件”（EE2211）的任课老师曹文翰教授表示，在材料器件中心的大力支持下，此类理论与实践融合的活动已成为课程的常态化实践教学活动。课程通过组织学生深入了解和实地观摩微纳制造平台，将课堂理论与实际工艺制备过程紧密结合，以产业实践深化理论认知，助力学生构建从原理到应用的完整知识体系。这种“理论教学+平台实践”的教学模式，通过让学生亲身接触行业最先进的制造设备与工艺，不仅强化了对专业知识的掌握，更培养了学生的工程思维和创新能力，为培养高素质的微电子领域人才奠定了坚实基础。

上海科技大学材料器件中心自2019年12月设立以来，已发展成为面向全社会开放的集成电路先进制造公共科研服务平台。该中心不仅与校内院所、战略合作单位及高新技术企业保持密切合作，还于2023年招收了首批专业学位硕士研究生，开设了系列微加工实践课程。中心集材料制备、微纳加工、量测表征于一体，配备完整的工艺设备链，涵盖薄膜沉积、图形加工、刻蚀清洗、后道封装等各环节，具备从10纳米至微米级的器件与图形加工测试能力，为教学科研提供了强有力的硬件支撑。