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题目（Title）：
材料器件中心《造芯大讲堂》2025年第十九讲【装备篇】——《扫描电镜的工作原理及其在半导体研究中的应用》
主讲人（Speaker）：
杨文慧
开始时间（Start Time）：
2025-12-17 10:30
结束时间（End Time）：
2025-12-17 12:30
会议地点（Place）：
材料器件中心S209
主办单位（Organization）：
材料器件中心
协办单位(Co-organizer)：
简介（Brief Introduction）：
1. 扫描电镜基本工作原理及探测器介绍;
2. 电镜在半导体方向的应用，光刻胶成像，PVC成像，ECCI成像等；
3. 光电关联技术，自动成像量测，缺陷检测技术的介绍。
沪公网安备 31011502006855号