材料器件中心《造芯大讲堂》2025年第十七讲：《电子束蒸发和热阻蒸发镀膜原理与技术》

发布时间2025-11-30文章来源 上海科技大学作者责任编辑系统管理员

1. 电子束蒸发、热阻蒸发的原理;

2. 如何选择电子束蒸发的坩埚和热阻蒸发的蒸发舟；

3. 电子束蒸发、热阻蒸发的常见问题和建议。