材料器件中心《造芯大讲堂》2025年第十五讲：《磁控溅射镀膜原理与应用》

发布时间2025-11-10文章来源 上海科技大学作者责任编辑系统管理员

1.磁控溅射的原理
2.膜厚均匀性、沉积速率的计算方法
3.各类磁控溅射电源
4.磁控溅射的优缺点、常规磁控溅射的问题