《造芯大讲堂》2025年第十三讲：《MEMS 技术全解析:材料选择、工艺实现与器件设计》

发布时间2025-10-20文章来源 上海科技大学作者责任编辑系统管理员

1.系统介绍MEMS基本概念、原理、市场、战略意义
2.讲解MEMS的关键材料、关键工艺与代表性器件