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题目(Title):
《造芯大讲堂》2025年第十三讲:《MEMS 技术全解析:材料选择、工艺实现与器件设计》
主讲人(Speaker):
王诗男
开始时间(Start Time):
2025-10-22 13:30
结束时间(End Time):
2025-10-22 15:30
会议地点(Place):
材料器件中心S209
主办单位(Organization):
材料器件中心
协办单位(Co-organizer):
简介(Brief Introduction):
1.系统介绍MEMS基本概念、原理、市场、战略意义
2.讲解MEMS的关键材料、关键工艺与代表性器件