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题目(Title):
10月15日 材料器件中心《造芯大讲堂》2025年第十二讲:《先进光掩模工艺技术》
主讲人(Speaker):
沈俊然
开始时间(Start Time):
2025-10-15 13:30
结束时间(End Time):
2025-10-15 15:30
会议地点(Place):
上科大材料器件中心S209
主办单位(Organization):
材料器件中心
协办单位(Co-organizer):
简介(Brief Introduction):
1. 讲解光掩模的用途、类型、在产业链中的作用及地位;
2. 详细介绍光掩模生产的原理、工艺流程及相关设备;
3. 介绍光掩模产品检验方法及相关设备。

