《造芯大讲堂》2025年第三讲：《聚焦离子束电镜在半导体材料研究中的应用》

1. 聚焦离子束电镜（FIB）的原理介绍
2. 聚焦离子束技术在半导体材料中的应用方向： 材料表征，FIB可以用于对半导体材料的微观结构进行高分辨率成像和分析。样品制备，在半导体器件的研究中，FIB可以用于制备特定的样品形状和尺。缺陷修复，通过精确地沉积或去除材料，FIB可以帮助改善器件的性能。掺杂，通过离子注入，FIB能够在特定区域内改变材料的电性，从而实现对器件性能的调控。