一图故事:软物质微纳加工实验室

发布时间2023-02-19文章来源 综合办公室作者责任编辑高瑄

 上海科技大学物质科学与技术学院软物质微纳加工实验室(Soft Matter Nanofabrication Laboratory是专门为了研发软物质将新型材料的各种优异性质器件化并且实用化,而创建的一个微纳加工共享平台。平台模拟先进的微电子生产环境,主要提供光刻、蚀刻、薄膜、和器件封装测试等工艺,能够为软物质研究提供先进且全面的器件制备能力。图为2172019级本科生同学在学习“双一流”课程“微纳加工基础与实验”,平台教师指导紫外曝光机的使用,掌握初级光刻技术。整个光刻操作在特殊的“黄光间”进行,目的是隔绝环境中的紫外线对光刻胶的影响。