我校量子器件中心召开用户委员会成立会议暨第一次用户代表大会

4月25日下午，量子器件中心（以下简称SQDL）用户委员会成立会议暨第一次用户代表大会在校行政中心顺利召开。物质学院执行院长、SQDL主任陆卫，科技发展处副处长王绛等，校内外用户代表以及SQDL工作人员参加本次会议。会议由王绛主持。

会议审议通过了《大会选举报告》《监票人和计票人名单》以及经校领导批复同意的《SQDL用户委员会候选人名单》。按照《大会选举办法》，经过等额投票方式，选举产生了SQDL第一届用户委员会，王绛当选第一届用户委员会主任。

会上，王绛提出了委员会建立对接用户意见反馈机制的方案，明确了委员具体职责分工和下一步工作计划。她希望委员们认真履职，积极参加委员会会议、承担委员会委托的工作；密切联系用户，客观、公正地反映所对接单位用户的意见和建议；严肃对待用户的意见和建议，对共性化的意见建议及时拿出可操作、可解决、公平科学的解决办法，促进SQDL服务质量持续提升，更高水平地服务用户。  

会议还审议通过了《量子器件中心用户委员会章程》《量子器件中心大型精密仪器设备工艺专家管理办法》《量子器件中心用户机时奖励办法》等三项规章制度，委员们对SQDL人才培养和储备方面提出了切实可行的建议。

陆卫在讲话中指出，SQDL以“围绕学校学科发展要求，立足长三角、辐射全国、走向国际，培养新一代‘能工巧匠’，建设一流的微纳技术加工平台”为发展目标。用户委员会的成立运行，将直接为SQDL的发展赋能，希望用户委员会开拓思路，积极发挥建言献策作用，监督提升服务质量水平，协助SQDL凝练重点发展方向、完善创新管理措施，推动SQDL在人才培养、技术超越以及科研创新等方面不断进步。

SQDL用户委员会是由学校管理代表、校内外重要用户和学术代表以及沪区微纳平台管理专家组成，共有委员11人。委员会将定期召开会议，围绕SQDL微纳技术发展方向、提升用户服务解决方案、用户优秀科研成果产出奖励评审以及特殊设备工艺专家推荐和评审等事项进行讨论研究。

量子器件中心（ShanghaiTech Quantum Device Lab，简称SQDL）是我校于2019年12月正式设立的面向全校师生、科研院所乃至全社会开放的共享科研平台，也是我校开展学科交叉研究、产学研深度融合、培养一流人才的重要创新平台，是我校服务国家战略的行动体现之一。SQDL以建设一流的微纳技术加工平台、在相关微纳工艺制造领域形成自主核心知识产权和打造优秀技术团队为目标，重点聚焦微电子、光电子和微纳机电领域，围绕III-V族化合物、Si基等功能材料开展微纳工艺制造研发，努力为推动破解新一代芯片中“卡脖子”问题以及人才培养等做出积极贡献。

SQDL实验室位于海科路99号1号楼，分为地下和地面二层净化空间，占地约2600余平方米，设有百级（ISO-5，500平方米）和千级（ISO-6，1000平方米）两个洁净室区域。净化室内按设备功能区域布局，分布有氧化扩散、光刻、薄膜沉积、干法刻蚀、湿法刻蚀、后道封装、量测等微纳先进工艺设备共60余台，拥有电子束曝光机、AlN薄膜生长系统、ALD原子层沉积等先进大型精密仪器设备，满足十纳米线宽及以上尺寸图形的微纳器件研发需求。2020年SQDL实验室试运行以来，随着设备工艺功能不断完善，用户数量持续增加，目前共有用户数近150人，用户主要来自我校物质学院、信息学院以及沪区科研院所以及高新技术研发企业。

SQDL：https://eshare.shanghaitech.edu.cn/sqdl/