真空镀膜系统

发布时间2016-09-14文章来源 设备与资产处作者责任编辑

  

 真空镀膜系统

型号: ANGSTROM AMOD

购入时间：2015

所属单位：物质科学与技术学院

仪器地点：海科路100号科研楼

仪器简介：

        Angstrom 的真空系统镀膜系统和手套箱集成，适用于在对空气和水敏感的样品上进行金属电极的制备、氧化物薄膜的制备。该系统配有热蒸发源、电子束蒸发源、磁控溅射源，能够蒸镀金、银、钛、铝等常见金属以及氧化锌、氧化镍等氧化物，配有膜厚仪对膜厚进行监测。 

联系人：程佩红

联系电话：20685204